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1微電子機械系統(tǒng)的概述

1.1微電子機械系統(tǒng)的概念

微電子機械系統(tǒng)主要結構有微型傳感器、制動器以及處理電路。其是一種微電子電路與微機械制動器結合的尺寸微型的裝置，其在電路信息的指示下可以進行機械操作，并且還能夠通過裝置中的傳感器來獲取外部的數(shù)據(jù)信息，將其進行轉化處理放大，進而通過制動器來實現(xiàn)各種機械操作。而微電子機械系統(tǒng)技術是以微電子機械系統(tǒng)的理論、材料、工藝為研究對象的技術。微電子系統(tǒng)并不只是單純的將傳統(tǒng)的機電產品微型化，其制作材料、工藝、原理、應用等各個方面都突破了傳統(tǒng)的技術限制，達到了一個微電子、微機械技術結合的全新高度。微電子機械系統(tǒng)是一種全新的高新科學技術，其在航天、軍事、生物、醫(yī)療等領域都有著重要的作用。

1.2微電子機械系統(tǒng)技術的特點

1.2.1尺寸微型化

傳統(tǒng)機械加工技術的最小單位一般是cm，而微電子機械系統(tǒng)技術下的機械加工往往最小單位已經涉及到了微米甚至納米。這以尺寸的巨大變化使得微電子機械系統(tǒng)技術下的原件具有微型化的特點，其攜帶方便，應用領域更加廣闊。

1.2.2集成化

微電子機械系統(tǒng)技術下的原件實現(xiàn)了微型化為器件集成化提供了有力的基礎。微型化的器件在集成上具有無可比擬的優(yōu)勢，其能夠隨意組合排列，組成更加復雜的系統(tǒng)。

1.2.3硅基材料

微電子機械系統(tǒng)技術下的器件都是使用硅為基加工原料。地面表面有接近30%的硅，經濟優(yōu)勢十分明顯。硅的使用成本低廉這就使得微電子機械系統(tǒng)技術的下的器件成本大大縮減。硅的密度、強度等于鐵相近，密度與鋁相近，熱傳導率與鎢相近。

1.2.4綜合學科英語

微電子機械系統(tǒng)技術幾乎涉及到所有學科，電子、物理、化學、醫(yī)學、農業(yè)等多個學科的頂尖科技成果都是微電子機械系統(tǒng)技術的基礎。眾多學科的最新成果組合成了全新的系統(tǒng)和器件，創(chuàng)造了一個全新的技術領域。

2微電子機械系統(tǒng)的技術類別

2.1體微機械加工技術

體微機械加工技術主要將單晶硅基片加工為微機械機構的工藝，其最大的優(yōu)勢就是可以制作出尺寸較大的器件，最大的弊端是難以制造出精細化的靈敏系統(tǒng)。并且使用體微加工工藝難以優(yōu)化器件的平面化布局，制作出來的器件難以與微電子線路直接兼容。體微機械加工工藝一般在壓力傳感器和加速度傳感器的制造中普遍應用。

2.2表面微機械加工技術

表面微機械加工技術就是通過集成電路中的平面化技術來實現(xiàn)微機械裝置的制造。其主要優(yōu)勢表現(xiàn)在充分利用了已有的IC工藝，能夠靈活掌握機械器件的尺寸，因此表面為微機械加工技術與IC之間是兼容的。表面微機械加工技術與集成電路的良好兼容性使得其在應用領域實現(xiàn)了快速普及。

2.3復合微機械加工技術

復合微機械加工技術就是體微機械技工技術與表面微機械加工技術的結合，其結合了兩者的優(yōu)點，但又同時避免了相應缺點。

3微電子機械技術的應用

3.1環(huán)境科學領域

微電子機械系統(tǒng)技術下的微型設備可以在環(huán)境監(jiān)測和數(shù)據(jù)處理分析上發(fā)揮巨大的作用。由化學傳感器、生物傳感器以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)所集合的測量與處理設備。該微型裝置可以用來監(jiān)測空氣和液體的成分，其獨特優(yōu)勢在于尺寸微小，便于攜帶。

3.2軍事領域

納米器件所構成的裝置先要對半導體器件運行速度高，攜帶方便，信息輸出和處理快捷，在軍事領域其能夠用來制作各種微型設備，例如“蚊子導彈”、“麻雀衛(wèi)星”等。

3.3醫(yī)療領域

在臨床化驗分析、介入治療領域其也能夠實現(xiàn)巨大的價值。近幾年獲得發(fā)展的介入治療技術與傳統(tǒng)治療技術相比臨床治療效果優(yōu)越，能夠有效緩解患者痛苦。但是當前介入治療儀器價格高，體積巨大，準確性難以保證，尤其是在治療重要器官時風險較大。微電子機械系統(tǒng)技術的微型與智能特性可以顯著降低介入治療的風險。

4結束語

微電子機械系統(tǒng)技術將機電系統(tǒng)的實用性、智能化和多樣化發(fā)展到了一個全新的高度。當今微電子機械系統(tǒng)技術已經對農業(yè)、環(huán)境、醫(yī)療、軍事等領域產生了重大的影響，也影響著人們的生產和生活方式，相信在不久的以后微電子機械系統(tǒng)技術將會成為我國社會經濟發(fā)展不可或缺的重要部分，為我國經濟發(fā)展起到巨大的推動作用。

作者:王志宏單位:中國科學院長春精密機械與物理研究所