半導(dǎo)體制造技術(shù)范文10篇
時(shí)間:2024-05-21 06:08:51
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產(chǎn)業(yè)差距構(gòu)成情況管理論文
1980年前,我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)形成較完整的包括設(shè)備、原料、制造、工藝等方面的科研和生產(chǎn)體系,主要分布于原電子部(信息產(chǎn)業(yè)部)、中國科學(xué)院和航天部系統(tǒng)。
改革開放以來,經(jīng)過大規(guī)模引進(jìn)消化和90年代的重點(diǎn)建設(shè),目前我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已具備了一定的規(guī)模和基礎(chǔ),包括已穩(wěn)定生產(chǎn)的7個(gè)芯片生產(chǎn)骨干廠、20多個(gè)封裝企業(yè),幾十家具有規(guī)模的設(shè)計(jì)企業(yè)以及若干個(gè)關(guān)鍵材料及專用設(shè)備儀器制造廠組成的產(chǎn)業(yè)群體,大體集中于京津、滬蘇浙、粵閩三地。
我國歷年對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的總投入約260億元人民幣(含126億元外資)。現(xiàn)有集成電路生產(chǎn)技術(shù)主要來源于國外技術(shù)轉(zhuǎn)讓,其中相當(dāng)部分集成電路前道工序和封裝廠是與美、日、韓公司合資設(shè)立。其中三資企業(yè)的銷售額約占總銷售額的88%(1998年)。民營的集成電路企業(yè)開始萌芽。
設(shè)計(jì):集成電路的設(shè)計(jì)匯集電路、器件、物理、工藝、算法、系統(tǒng)等不同技術(shù)領(lǐng)域的背景,是最尖端的技術(shù)之一。我國目前以各種形態(tài)存在的集成電路設(shè)計(jì)公司、設(shè)計(jì)中心等約80個(gè),工程師隊(duì)伍還不足3000人。2000年,集成電路設(shè)計(jì)業(yè)銷售額超過300萬元的企業(yè)有20多家,其中超過1000萬的約10家。超過1億的4家(華大、矽科、大唐微電子和士蘭公司)??備N售額10億元左右。年平均設(shè)計(jì)300種左右(其中不到200種形成批量)。
現(xiàn)主要利用外商提供的EDA工具,運(yùn)用門陣列、標(biāo)準(zhǔn)單元,全定制等多種方法進(jìn)行設(shè)計(jì)。并開始采用基于機(jī)構(gòu)級的高層次設(shè)計(jì)技術(shù)、VHDL,和可測性設(shè)計(jì)技術(shù)等先進(jìn)設(shè)計(jì)方法。設(shè)計(jì)最高水平為0.25微米,700萬元件,3層金屬布線,主線設(shè)計(jì)線寬0.8-1.5微米,雙層布線。[1]目前,我國在通信類集成電路設(shè)計(jì)有一定的突破。自行設(shè)計(jì)開發(fā)的熊貓2000系列CAD軟件系統(tǒng)已開發(fā)成功并正在推廣。這個(gè)系統(tǒng)的開發(fā)成功,使我國繼美國、歐共體、日本之后,第四個(gè)成為能夠開發(fā)大型的集成電路設(shè)計(jì)軟件系統(tǒng)的國家。目前邏輯電路、數(shù)字電路100萬門左右的產(chǎn)品已可以用此設(shè)計(jì)。
前工序制造:1990年代以來,國家通過投資實(shí)施“908”、“909”工程,形成了國家控股的骨干生產(chǎn)企業(yè)。其中,中日合資、中方控股的華虹NEC(8英寸硅片,0.35-0.25微米,月投片2萬片),總投資10億美元,以18個(gè)月的國際標(biāo)準(zhǔn)速度建成,99年9月試投片,現(xiàn)已達(dá)產(chǎn)。該工程使我國芯片制造進(jìn)入世界主流技術(shù)水平,增強(qiáng)了國內(nèi)外產(chǎn)業(yè)界對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)能力的信心。
電力電子焊接技術(shù)研究
1引言
功率模塊焊接和連接的最新技術(shù)水平是空白的使用一一半導(dǎo)體底面與頂層基材和鋁(A)粗線互連的無鉛焊接工藝。由于設(shè)計(jì)靈活性大、實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的程序簡單,鋁線綁定現(xiàn)在己成為頂層互連的首選。遺憾的是,由于眾所周知的生命周期局限的原因,鋁粗線焊接成了眾多設(shè)計(jì)的瓶頸。過去,利用燒結(jié)帶或編織帶提出了一些關(guān)于芯片頂層觸點(diǎn)的解決方案對于1C或存儲(chǔ)產(chǎn)品而言,作為粗金(Au)線的替代品,銅(Cu)線綁定具有較高的適配率。還強(qiáng)烈希望采用較大直徑的電線作為鋁線的替代品,并提出了此課題的有關(guān)事項(xiàng)PM。銅線綁定保持了當(dāng)前鋁線綁定法的設(shè)計(jì)靈活性和工藝靈活性,但是粗銅線要求頂層金屬化整體更加牢固,以防止功率半導(dǎo)體在粘合焊盤的作用下出現(xiàn)芯片裂紋和結(jié)構(gòu)損壞。很多功率半導(dǎo)體制造廠正在著手解決這一問題。本文提出的連接方法的主要優(yōu)勢之一是這種方法可使用粗銅線綁定,無需改變半導(dǎo)體頂層金屬化。因此,半導(dǎo)體制造廠可依靠現(xiàn)有的工藝技術(shù)和既定的金屬化,在前端和后端/封裝材料之間留出分隔線。于是,高可靠性功率模塊完全有可能實(shí)現(xiàn)較快的上市時(shí)間。銀燒結(jié)是一種成熟的功率半導(dǎo)體焊接和連接技術(shù),||J靠性很高,要求使用常見的金屬化表面。例如NiAu、Pd或Ag,這些表面都很常用,大多數(shù)制造廠有售。
2綁定和焊接技術(shù)
2.1低壓燒結(jié)。低壓燒結(jié)接受用于生產(chǎn)整流器功率模塊,采用這種技術(shù),功率模塊質(zhì)量更好,熱工特性、機(jī)械特性和電氣特性優(yōu)良。燒結(jié)時(shí)需要在焊接件之間涂銀膏。燒結(jié)過程中,施加壓力產(chǎn)生一層密實(shí)的銀層,連接可靠。燒結(jié)過程中,當(dāng)銀膏中的銀顆粒和有機(jī)物促使擴(kuò)散力增加時(shí),可減小施加的壓力。據(jù)報(bào)道,當(dāng)前的燒結(jié)工藝可在40MPa以下的壓力水平完成|6im。減小壓力可生產(chǎn)不同規(guī)格的模塊,從而增加設(shè)計(jì)靈活性,便于利用批量生產(chǎn)技術(shù)。2.2粗銅線綁定。銅線綁定是電力電子產(chǎn)品總成的大電流互連最看好的技術(shù)之一。與鋁線綁定相比,銅線綁定布局靈活性高、質(zhì)量過程成熟,正因?yàn)檫@兩條原因,加快了銅線綁定的研發(fā)。與鋁材相比,電線粘合互連采用銅質(zhì)材料,有兩大好處:(1)電流能力增加37%:(2)銅的熱傳導(dǎo)率好(比鋁的熱傳導(dǎo)率高達(dá)80%)。2.3丹佛斯粘合緩沖板技術(shù)(DBB)。丹佛斯粘合緩沖板技術(shù)(DBB)由燒結(jié)在金屬半導(dǎo)體頂層金屬化表面上的薄銅箔組成,如圖1所示。此外,替換半導(dǎo)體底面接口與DBC基體的凸點(diǎn)瓦連時(shí),也可采用相同的燒結(jié)技術(shù)。圖1燒結(jié)DBB銀和銅線綁定熱堆棧的橫截面設(shè)計(jì)DBB吋,其尺寸要保證熱機(jī)械優(yōu)化,以減小由于CTE不匹配而引起的機(jī)械應(yīng)力。除了銅線綁定期間可吸收能量和保護(hù)晶片的特性外,DBB還具有很多熱特性和電氣特性優(yōu)勢。采用DBB后,半導(dǎo)體內(nèi)出現(xiàn)均勻的電流密度分配。由于豎向電流流動(dòng)得到改善,無需在半導(dǎo)體上采用針腳式粘合。此部分將進(jìn)一步介紹標(biāo)準(zhǔn)整流器模塊和第2部分所述方法制成的相同模塊之間的直接比較結(jié)果。
3結(jié)果
3.1熱模擬。為了證明新封裝技術(shù)的性能,我們使用熱模擬軟件FlowEFD,對不同的設(shè)計(jì)方案進(jìn)行了研宄。為了便于對結(jié)果進(jìn)行比較,所有方案都采用相同的條件。圖2顯示的是FEM模擬的邊界條件。圖2第一糢擬部分和第二糢擬部分的邊界條件DBB的附加熱能力對Zth曲線有積極影響,W為它能儲(chǔ)存短熱能脈沖。圖3所示的是不同變型(VI?V5)不同時(shí)間(l〇ms、100ms、1000ms)的熱阻抗。在燒結(jié)的DBB變型(V5)中,10ms的Zth比標(biāo)準(zhǔn)焊機(jī)技術(shù)(VI)低大于22%。另外,DBB的熱能力對Rth沒有負(fù)面影響,因?yàn)樗丛跓嵩矗ň┖蜔岢林g的傳熱路徑上。3.2可靠性。從以前的標(biāo)準(zhǔn)焊接模塊、燒結(jié)模塊和編織帶模塊試驗(yàn)中得出比較數(shù)據(jù)W。功申循環(huán)結(jié)果如閣4所示。丹佛斯標(biāo)準(zhǔn)整流器模塊約有40000個(gè)循環(huán),而采川鋁線的燒結(jié)模塊約有70000個(gè)循環(huán)。DBB模塊至少有600000個(gè)循環(huán),比丹佛斯標(biāo)準(zhǔn)模塊好約15倍,比行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)好約60倍mi。
電力電子技術(shù)在電力機(jī)車的運(yùn)用
摘要:本文通過分析電力電子技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r,再結(jié)合電力電子技術(shù)在我國電力機(jī)車牽引電傳動(dòng)系統(tǒng)中的應(yīng)用情況,指出了寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)是今后從事電力電子技術(shù)研究的重要方向,并提出了繼續(xù)探究優(yōu)化改型IGBT和SiC功率器件在電力機(jī)車上的應(yīng)用研究,對促進(jìn)我國電力機(jī)車的發(fā)展具有重大意義。
關(guān)鍵詞:電力電子技術(shù);電力機(jī)車;牽引電傳動(dòng)系統(tǒng)
隨著電力電子技術(shù)的快速發(fā)展,電力機(jī)車牽引電傳動(dòng)系統(tǒng)發(fā)生了巨大的變化。20世紀(jì)中后期,采用交直傳動(dòng)系統(tǒng)的韶山型電力機(jī)車在我國鐵路交通運(yùn)輸中占主導(dǎo)地位,但隨著現(xiàn)代科學(xué)與技術(shù)的快速發(fā)展,采用交直交傳動(dòng)系統(tǒng)的和諧系列電力機(jī)車,在生產(chǎn)實(shí)際中得到廣泛的應(yīng)用,并逐漸取代了韶山型電力機(jī)車。在電力機(jī)車牽引電傳動(dòng)系統(tǒng)的發(fā)展歷程中,電力電子技術(shù)承擔(dān)著舉足輕重的作用,因此,電力電子技術(shù)在電力機(jī)車牽引電傳動(dòng)系統(tǒng)中的應(yīng)用研究具有重要意義。
1電力電子技術(shù)的發(fā)展
1947年,第一只晶體管的研制成功,開創(chuàng)了半導(dǎo)體固態(tài)電子學(xué),20世紀(jì)50年代功率半導(dǎo)體二極管的出現(xiàn),提高了整流電路的效率。1957年美國通用電氣公司研制出第一只可控型電力電子器件———晶閘管,次年得以商業(yè)化,標(biāo)志著對電能變換與控制的電力電子技術(shù)誕生。電力電子技術(shù)是一門新型技術(shù),但是發(fā)展快速,其原因有兩個(gè):一是:人類電氣化時(shí)代,電能在國民工業(yè)中的應(yīng)用比重已成為衡量一個(gè)國家發(fā)展水平的重要指標(biāo),電力電子技術(shù)適應(yīng)了當(dāng)今世界人們對電能的巨大需求以及能源利用效率的不斷追求,利用電力電子技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)交流到直流(AC/DC)、直流到交流(DC/AC)、交流到交流(AC/AC)、直流到直流(DC/DC)等多形式的能量變換,這為太陽能、風(fēng)能等清潔能源的利用,高效的交流傳動(dòng),以及高壓直流輸電等各領(lǐng)域的應(yīng)用打開了廣闊的前景。二是:電力電子器件的發(fā)展極大地?cái)U(kuò)展了電力電子技術(shù)應(yīng)用的功率范圍,微處理器的出現(xiàn)實(shí)現(xiàn)了控制數(shù)字化,快速推進(jìn)了電力電子技術(shù)的應(yīng)用發(fā)展。1.1傳統(tǒng)電力電子技術(shù)。晶閘管的發(fā)明擴(kuò)展了半導(dǎo)體器件的功率控制范圍,在二十世紀(jì)60年代得到快速推廣,主要應(yīng)用于大功率整流器。二十世紀(jì)60年代普遍較大功率的工業(yè)用電由工頻交流發(fā)電機(jī)產(chǎn)生,其中有近20%的電力是給直流用電負(fù)載使用,而大功率硅整流器實(shí)現(xiàn)了將工頻交流電轉(zhuǎn)換成直流電。晶閘管具有體積小、功耗小、效率高、可控等特點(diǎn),用它構(gòu)成的變流裝置具有壽命長、易維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。因此,晶閘管的開發(fā)與應(yīng)用在上世紀(jì)六、七十年代得到了快速發(fā)展。由于晶閘管的關(guān)斷不可控,需要依靠外加電路或外加反向電壓來實(shí)現(xiàn)關(guān)斷,這就限制了晶閘管的應(yīng)用。隨著科技的發(fā)展,多種多樣的負(fù)載不斷涌現(xiàn),對需求的電能提出了更高的要求,在二十世紀(jì)70年代,全控型器件出現(xiàn)了,并逐漸占據(jù)主導(dǎo)地位,如快速晶閘管、門極可關(guān)斷晶閘管。全控型器件具有自身可關(guān)斷性能和較高開關(guān)速度,在整流、逆變、斬波、變頻電路中得到了廣泛應(yīng)用,電力電子技術(shù)得到突飛猛進(jìn)的發(fā)展。但是快速晶閘管、門極可關(guān)斷晶閘管工作頻率不高,只能在中低頻的范圍內(nèi)應(yīng)用。1.2現(xiàn)代化電力電子技術(shù)。20世紀(jì)80年代初期,大功率絕緣柵雙極晶體管(IGBT)的出現(xiàn)把電力電子技術(shù)的應(yīng)用帶入高頻及中大功率領(lǐng)域。IGBT具有較高綜合性能,開關(guān)頻率方面,一般可達(dá)10kHz至20kHz,小功率的甚至高達(dá)100kHz;電壓等級方面,最高電壓已達(dá)到6500V,該電壓下的電流可達(dá)750A,1700V電壓等級的電流可達(dá)2400A;溫度方面,最高可達(dá)175℃。開關(guān)器件的高頻化也促進(jìn)了電感器件體積的成倍縮小。大中型功率高頻IGBT的發(fā)展持續(xù)促進(jìn)著電力電子設(shè)備朝輕重量、小體積、高效能方面發(fā)展,再結(jié)合日益進(jìn)步的微處理芯片技術(shù),現(xiàn)代電力電子技術(shù)已實(shí)現(xiàn)了全控化、集成化、高頻化、控制技術(shù)數(shù)字化和電路形式弱電化,應(yīng)用場合越來越廣泛。由于負(fù)載對供電電能的質(zhì)量要求越來越高,科研工作者還在不斷進(jìn)行IGBT改型研究。經(jīng)過多年應(yīng)用發(fā)展Si器件為基礎(chǔ)的電力電子技術(shù)相當(dāng)成熟,Si器件在開關(guān)頻率、通態(tài)壓降以及結(jié)溫等性能指標(biāo)上難以繼續(xù)提升,發(fā)展空間較小。新一代寬禁帶半導(dǎo)體材料(如碳化硅)的電力電子器件具有比硅器件高得多的耐受高電壓的能力、低得多的通態(tài)電阻、更好的導(dǎo)熱性能和熱穩(wěn)定性以及更強(qiáng)的耐受高溫和射線輻射的能力等。當(dāng)前寬禁帶半導(dǎo)體器件的發(fā)展一直受制于材料的提煉、制造以及半導(dǎo)體的制造工藝水平,尚處于起步階段。目前,我國在應(yīng)用寬禁帶半導(dǎo)體方面也進(jìn)行了初步的研究。寬禁帶半導(dǎo)體在照明中應(yīng)用已形成一定規(guī)模,2017年我國氮化物半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)值突飛猛進(jìn),突破了5000億。同時(shí),微波毫米波器件已開始應(yīng)用于通訊、衛(wèi)星通信、對抗、雷達(dá)等領(lǐng)域。未來,寬禁帶半導(dǎo)體將在新能源汽車、電力轉(zhuǎn)換等行業(yè)有著越來越廣泛的應(yīng)用。由此可見,寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)是我們從事電力電子技術(shù)研究的一個(gè)重要方面。
2電力電子技術(shù)在我國電力機(jī)車牽引電傳動(dòng)系統(tǒng)中的應(yīng)用
半導(dǎo)體材料研究分析論文
摘要本文重點(diǎn)對半導(dǎo)體硅材料,GaAs和InP單晶材料,半導(dǎo)體超晶格、量子阱材料,一維量子線、零維量子點(diǎn)半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料,寬帶隙半導(dǎo)體材料,光子晶體材料,量子比特構(gòu)建與材料等目前達(dá)到的水平和器件應(yīng)用概況及其發(fā)展趨勢作了概述。最后,提出了發(fā)展我國半導(dǎo)體材料的建議。
關(guān)鍵詞半導(dǎo)體材料量子線量子點(diǎn)材料光子晶體
1半導(dǎo)體材料的戰(zhàn)略地位
上世紀(jì)中葉,單晶硅和半導(dǎo)體晶體管的發(fā)明及其硅集成電路的研制成功,導(dǎo)致了電子工業(yè)革命;上世紀(jì)70年代初石英光導(dǎo)纖維材料和GaAs激光器的發(fā)明,促進(jìn)了光纖通信技術(shù)迅速發(fā)展并逐步形成了高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),使人類進(jìn)入了信息時(shí)代。超晶格概念的提出及其半導(dǎo)體超晶格、量子阱材料的研制成功,徹底改變了光電器件的設(shè)計(jì)思想,使半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)與制造從“雜質(zhì)工程”發(fā)展到“能帶工程”。納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用,將使人類能從原子、分子或納米尺度水平上控制、操縱和制造功能強(qiáng)大的新型器件與電路,必將深刻地影響著世界的政治、經(jīng)濟(jì)格局和軍事對抗的形式,徹底改變?nèi)藗兊纳罘绞健?/p>
2幾種主要半導(dǎo)體材料的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢
2.1硅材料
半導(dǎo)體材料研究論文
1半導(dǎo)體材料的戰(zhàn)略地位
上世紀(jì)中葉,單晶硅和半導(dǎo)體晶體管的發(fā)明及其硅集成電路的研制成功,導(dǎo)致了電子工業(yè)革命;上世紀(jì)70年代初石英光導(dǎo)纖維材料和GaAs激光器的發(fā)明,促進(jìn)了光纖通信技術(shù)迅速發(fā)展并逐步形成了高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),使人類進(jìn)入了信息時(shí)代。超晶格概念的提出及其半導(dǎo)體超晶格、量子阱材料的研制成功,徹底改變了光電器件的設(shè)計(jì)思想,使半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)與制造從“雜質(zhì)工程”發(fā)展到“能帶工程”。納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用,將使人類能從原子、分子或納米尺度水平上控制、操縱和制造功能強(qiáng)大的新型器件與電路,必將深刻地影響著世界的政治、經(jīng)濟(jì)格局和軍事對抗的形式,徹底改變?nèi)藗兊纳罘绞健?/p>
2幾種主要半導(dǎo)體材料的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢
2.1硅材料
從提高硅集成電路成品率,降低成本看,增大直拉硅(CZ-Si)單晶的直徑和減小微缺陷的密度仍是今后CZ-Si發(fā)展的總趨勢。目前直徑為8英寸(200mm)的Si單晶已實(shí)現(xiàn)大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn),基于直徑為12英寸(300mm)硅片的集成電路(IC‘s)技術(shù)正處在由實(shí)驗(yàn)室向工業(yè)生產(chǎn)轉(zhuǎn)變中。目前300mm,0.18μm工藝的硅ULSI生產(chǎn)線已經(jīng)投入生產(chǎn),300mm,0.13μm工藝生產(chǎn)線也將在2003年完成評估。18英寸重達(dá)414公斤的硅單晶和18英寸的硅園片已在實(shí)驗(yàn)室研制成功,直徑27英寸硅單晶研制也正在積極籌劃中。
從進(jìn)一步提高硅IC‘S的速度和集成度看,研制適合于硅深亞微米乃至納米工藝所需的大直徑硅外延片會(huì)成為硅材料發(fā)展的主流。另外,SOI材料,包括智能剝離(Smartcut)和SIMOX材料等也發(fā)展很快。目前,直徑8英寸的硅外延片和SOI材料已研制成功,更大尺寸的片材也在開發(fā)中。
半導(dǎo)體材料研究論文
摘要本文重點(diǎn)對半導(dǎo)體硅材料,GaAs和InP單晶材料,半導(dǎo)體超晶格、量子阱材料,一維量子線、零維量子點(diǎn)半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料,寬帶隙半導(dǎo)體材料,光子晶體材料,量子比特構(gòu)建與材料等目前達(dá)到的水平和器件應(yīng)用概況及其發(fā)展趨勢作了概述。最后,提出了發(fā)展我國半導(dǎo)體材料的建議。
關(guān)鍵詞半導(dǎo)體材料量子線量子點(diǎn)材料光子晶體
1半導(dǎo)體材料的戰(zhàn)略地位
上世紀(jì)中葉,單晶硅和半導(dǎo)體晶體管的發(fā)明及其硅集成電路的研制成功,導(dǎo)致了電子工業(yè)革命;上世紀(jì)70年代初石英光導(dǎo)纖維材料和GaAs激光器的發(fā)明,促進(jìn)了光纖通信技術(shù)迅速發(fā)展并逐步形成了高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),使人類進(jìn)入了信息時(shí)代。超晶格概念的提出及其半導(dǎo)體超晶格、量子阱材料的研制成功,徹底改變了光電器件的設(shè)計(jì)思想,使半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)與制造從“雜質(zhì)工程”發(fā)展到“能帶工程”。納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用,將使人類能從原子、分子或納米尺度水平上控制、操縱和制造功能強(qiáng)大的新型器件與電路,必將深刻地影響著世界的政治、經(jīng)濟(jì)格局和軍事對抗的形式,徹底改變?nèi)藗兊纳罘绞健?/p>
2幾種主要半導(dǎo)體材料的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢
2.1硅材料
半導(dǎo)體材料研究進(jìn)展論文
摘要本文重點(diǎn)對半導(dǎo)體硅材料,GaAs和InP單晶材料,半導(dǎo)體超晶格、量子阱材料,一維量子線、零維量子點(diǎn)半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料,寬帶隙半導(dǎo)體材料,光子晶體材料,量子比特構(gòu)建與材料等目前達(dá)到的水平和器件應(yīng)用概況及其發(fā)展趨勢作了概述。最后,提出了發(fā)展我國半導(dǎo)體材料的建議。
關(guān)鍵詞半導(dǎo)體材料量子線量子點(diǎn)材料光子晶體
1半導(dǎo)體材料的戰(zhàn)略地位
上世紀(jì)中葉,單晶硅和半導(dǎo)體晶體管的發(fā)明及其硅集成電路的研制成功,導(dǎo)致了電子工業(yè)革命;上世紀(jì)70年代初石英光導(dǎo)纖維材料和GaAs激光器的發(fā)明,促進(jìn)了光纖通信技術(shù)迅速發(fā)展并逐步形成了高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),使人類進(jìn)入了信息時(shí)代。超晶格概念的提出及其半導(dǎo)體超晶格、量子阱材料的研制成功,徹底改變了光電器件的設(shè)計(jì)思想,使半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)與制造從“雜質(zhì)工程”發(fā)展到“能帶工程”。納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用,將使人類能從原子、分子或納米尺度水平上控制、操縱和制造功能強(qiáng)大的新型器件與電路,必將深刻地影響著世界的政治、經(jīng)濟(jì)格局和軍事對抗的形式,徹底改變?nèi)藗兊纳罘绞健?/p>
2幾種主要半導(dǎo)體材料的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢
2.1硅材料
半導(dǎo)體材料研究發(fā)展論文
摘要本文重點(diǎn)對半導(dǎo)體硅材料,GaAs和InP單晶材料,半導(dǎo)體超晶格、量子阱材料,一維量子線、零維量子點(diǎn)半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料,寬帶隙半導(dǎo)體材料,光子晶體材料,量子比特構(gòu)建與材料等目前達(dá)到的水平和器件應(yīng)用概況及其發(fā)展趨勢作了概述。最后,提出了發(fā)展我國半導(dǎo)體材料的建議。
關(guān)鍵詞半導(dǎo)體材料量子線量子點(diǎn)材料光子晶體
1半導(dǎo)體材料的戰(zhàn)略地位
上世紀(jì)中葉,單晶硅和半導(dǎo)體晶體管的發(fā)明及其硅集成電路的研制成功,導(dǎo)致了電子工業(yè)革命;上世紀(jì)70年代初石英光導(dǎo)纖維材料和GaAs激光器的發(fā)明,促進(jìn)了光纖通信技術(shù)迅速發(fā)展并逐步形成了高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),使人類進(jìn)入了信息時(shí)代。超晶格概念的提出及其半導(dǎo)體超晶格、量子阱材料的研制成功,徹底改變了光電器件的設(shè)計(jì)思想,使半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)與制造從“雜質(zhì)工程”發(fā)展到“能帶工程”。納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用,將使人類能從原子、分子或納米尺度水平上控制、操縱和制造功能強(qiáng)大的新型器件與電路,必將深刻地影響著世界的政治、經(jīng)濟(jì)格局和軍事對抗的形式,徹底改變?nèi)藗兊纳罘绞健?/p>
2幾種主要半導(dǎo)體材料的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢
2.1硅材料
半導(dǎo)體材料研究進(jìn)展分析論文
摘要本文重點(diǎn)對半導(dǎo)體硅材料,GaAs和InP單晶材料,半導(dǎo)體超晶格、量子阱材料,一維量子線、零維量子點(diǎn)半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料,寬帶隙半導(dǎo)體材料,光子晶體材料,量子比特構(gòu)建與材料等目前達(dá)到的水平和器件應(yīng)用概況及其發(fā)展趨勢作了概述。最后,提出了發(fā)展我國半導(dǎo)體材料的建議。
關(guān)鍵詞半導(dǎo)體材料量子線量子點(diǎn)材料光子晶體
1半導(dǎo)體材料的戰(zhàn)略地位
上世紀(jì)中葉,單晶硅和半導(dǎo)體晶體管的發(fā)明及其硅集成電路的研制成功,導(dǎo)致了電子工業(yè)革命;上世紀(jì)70年代初石英光導(dǎo)纖維材料和GaAs激光器的發(fā)明,促進(jìn)了光纖通信技術(shù)迅速發(fā)展并逐步形成了高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),使人類進(jìn)入了信息時(shí)代。超晶格概念的提出及其半導(dǎo)體超晶格、量子阱材料的研制成功,徹底改變了光電器件的設(shè)計(jì)思想,使半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)與制造從“雜質(zhì)工程”發(fā)展到“能帶工程”。納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用,將使人類能從原子、分子或納米尺度水平上控制、操縱和制造功能強(qiáng)大的新型器件與電路,必將深刻地影響著世界的政治、經(jīng)濟(jì)格局和軍事對抗的形式,徹底改變?nèi)藗兊纳罘绞健?/p>
2幾種主要半導(dǎo)體材料的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢
2.1硅材料
半導(dǎo)體材料研究論文
摘要本文重點(diǎn)對半導(dǎo)體硅材料,GaAs和InP單晶材料,半導(dǎo)體超晶格、量子阱材料,一維量子線、零維量子點(diǎn)半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料,寬帶隙半導(dǎo)體材料,光子晶體材料,量子比特構(gòu)建與材料等目前達(dá)到的水平和器件應(yīng)用概況及其發(fā)展趨勢作了概述。最后,提出了發(fā)展我國半導(dǎo)體材料的建議。
關(guān)鍵詞半導(dǎo)體材料量子線量子點(diǎn)材料光子晶體
1半導(dǎo)體材料的戰(zhàn)略地位
上世紀(jì)中葉,單晶硅和半導(dǎo)體晶體管的發(fā)明及其硅集成電路的研制成功,導(dǎo)致了電子工業(yè)革命;上世紀(jì)70年代初石英光導(dǎo)纖維材料和GaAs激光器的發(fā)明,促進(jìn)了光纖通信技術(shù)迅速發(fā)展并逐步形成了高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),使人類進(jìn)入了信息時(shí)代。超晶格概念的提出及其半導(dǎo)體超晶格、量子阱材料的研制成功,徹底改變了光電器件的設(shè)計(jì)思想,使半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)與制造從“雜質(zhì)工程”發(fā)展到“能帶工程”。納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用,將使人類能從原子、分子或納米尺度水平上控制、操縱和制造功能強(qiáng)大的新型器件與電路,必將深刻地影響著世界的政治、經(jīng)濟(jì)格局和軍事對抗的形式,徹底改變?nèi)藗兊纳罘绞健?/p>
2幾種主要半導(dǎo)體材料的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢
2.1硅材料